[GAST]
13¹ø Á¶°ÇÃ߸® ÆÄÆ®´Â ½ÇÀü¿¡¼ ¹®Á¦¸¦ Ç® ¶§ °æ¿ìÀÇ ¼ö°¡ ´Ù¾çÇؼ ¿À·¡ °É·È½À´Ï´Ù.
ÇÏÁö¸¸ °ÀÇ¿¡¼¿Í °°ÀÌ, ÀÚ¸®¸¦ ¹Ù²Ü ¼ö ÀÖ´Â Ç׸ñÀº °°Àº µµÇüÀ¸·Î ³ªÅ¸³ÂÀ» ¶§, ÈξÀ ÀûÀº Ç¥·Î ´Ù¾çÇÑ °æ¿ì¸¦ ÇÑ´«¿¡ ºñ±³ÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÇ¾ú½À´Ï´Ù. A, B´Â °°Àº Çà¿¡ ÁÖÂ÷ÇÑ´ÙÀÇ °æ¿ì, A¿Í B¸¦ µ¿±×¶ó¹Ì·Î ³ªÅ¸³½ °ÍÀÔ´Ï´Ù. ±×·¸°Ô ÇÏ¿© °æ¿ìÀÇ ¼ö°¡ ¸î°³°¡ µÇ´ÂÁö ÆÇ´ÜÇÒ ¶§, Ç¥ 2°³ * µ¿±×¶ó¹Ì ¹®ÀÚ 2Á¾·ù * ¼¼¸ð ¹®ÀÚ 2Á¾·ù·Î 8°³ÀÓÀ» ½±°Ô ±¸ÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù.
14¹ø ¹®Á¦¿¡¼, ¸®±× ½ÄÀ¸·Î ÁÖ¾îÁø ¹®Á¦´Â x*x ÇàÀ¸·Î ½Â/ÆÐ ´ëĪ ¸ð¾çÀÇ Ç¥·Î ³ªÅ¸³»´Â °ÍÀÌ ÈξÀ º¸±â ÆíÇÏ´Ù´Â °ÍÀ» »õ·Î ¾Ë°Ô µÇ¾ú½À´Ï´Ù.
[¹ÝµµÃ¼]
(1) MOSFET ±¸Á¶¿Í Band diagram ¼³¸íÇÏ´Â ¸éÁ¢ ±âÃâ
energy bandÀÇ °æ¿ì Gate-Oxide-Semiconductor ¼öÁ÷ ±¸Á¶¸¦ ¼³¸íÇÕ´Ï´Ù.
(2) MOSFET Ư¼º ÀúÇÏ
¿øÀÎÀ¸·Î trap, TDDB°¡ ÀÖ½À´Ï´Ù.
trap: carrier°¡ oxide ³»ºÎ³ª oxide-semiconductor °æ°è defect¿¡ °íÁ¤µÇ´Â Çö»óÀÔ´Ï´Ù.
TDDB(Time Dependent Dielectric Breakdown): Åͳθµ¿¡ ÀÇÇØ ¿¡³ÊÁö ÁØÀ§°¡ ³ôÀº oxide¸¦ carrier°¡ Åë°úÇÕ´Ï´Ù. Àü±âÀå¿¡ ÀÇÇØ SiO2ÀÇ energy band°¡ tilt µÇ¾î ¾ã¾ÆÁø ¿¡³ÊÁö À庮À» Åë°úÇÕ´Ï´Ù.
(3) Short channel effect ¿øÀΰú ÇØ°á ¹æ¾È
short channel effect´Â channel ±æÀÌ°¡ ª¾ÆÁü¿¡ µû¶ó »ý±â´Â ¸ðµç Çö»óÀÔ´Ï´Ù.
(4) HKMG(High-k metal gate)
µµÀÔ ¹è°æ: °øÁ¤ ¹Ì¼¼È - oxide ¸éÀû °¨¼Ò - Capacitance À¯Áö À§ÇØ µÎ²² °¨¼Ò - Åͳθµ È¿°ú ´Ã¾î³ª¼ leakage current Áõ°¡: ³ôÀº À¯ÀüÀ² k¸¦ °¡Áø ¹°ÁúÀ» ÇÊ¿ä·Î ÇÏ°Ô µÇ¾ú½À´Ï´Ù.
high-k ¹°Áú·Î HfO2¿Í ZrO2°¡ »ç¿ëµË´Ï´Ù.
±âÁ¸ MOSFET´Â SiO2¿Í degenerated polysiliconÀÌ ¼öÁ÷À¸·Î gate¸¦ Çü¼ºÇßÀ¸³ª, HKMG´Â HfO2¿Í Metal·Î gate¸¦ ¸¸µì´Ï´Ù.
(5) finFET
short channel effect¸¦ ÇØ°áÇϱâ À§Çؼ °í¾ÈµÇ¾ú½À´Ï´Ù. channelÀ» 3¸éÀ¸·Î Çü¼ºÇÏ¿© Vth Á¶ÀýÀ» ¿ëÀÌÇÏ°Ô ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
´Ù¾çÇÑ ¹®Á¦°¡ Àִµ¥, °øÁ¤ÀÌ º¹ÀâÇÏ¿© ¹Ì¼¼ °áÇÔÀÌ È®´ëµÉ ¼ö ÀÖ°í, °¢ channel Á¢Çո鸶´Ù Vth°¡ ´Þ¶ó Àü·ù Ư¼º¿¡ ¿µÇâÀ» Áֱ⵵ ÇÕ´Ï´Ù. ¶Ç, Source¿Í DrainÀÇ ´Ü¸éÀûÀÌ °¨¼ÒÇÏ¿© ÀúÇ× ¶ÇÇÑ Áõ°¡ÇÕ´Ï´Ù.
(6) MOSCAP
source, drainÀÌ ¾ø´Â MOSFET ¸ð¾çÀÔ´Ï´Ù.
MOSFET°ú´Â ´Þ¸® accumulation¿¡¼µµ µ¿ÀÛÇÏ¿© ±³·ù¿¡¼µµ »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
Àü°øÀ» °øºÎÇϸç MOSFET¸¸ ¿À·¡ °øºÎÇß¾î¼, HKMG¿Í finFET, MOSCAPÀÌ »ý¼ÒÇß½À´Ï´Ù. °£°áÇÏ°Ô ¾Ë°Ô µÇ¾î ±âº» ƲÀ» ÀâÀ» ¼ö ÀÖ¾ú°í, Á¶±Ý ´õ ÀÚ¼¼ÇÑ ³»¿ëÀ» µû·Î ¹è¿ö ¿Ïº®ÇÑ ÀÌÇظ¦ ÇØ¾ß ÇÒ °Í °°½À´Ï´Ù.