¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷À¸·ÎÀÇ Ãë¾÷À» ¸ñÇ¥·Î ÇÑ ÈÄ,
ÁغñÇÏ´Â °úÁ¤¿¡¼ °¡Àå ¾î·Á¿î ºÎºÐÀº '°øÁ¤¿¡ ´ëÇÑ Áö½ÄÀ» ½Àµæ'ÇÏ´Â ºÎºÐÀ̾ú½À´Ï´Ù.
À¯°ü Çаú¸¦ Àü°øÇÑ °ÍÀÌ ¾Æ´Ï±â¿¡ ¹ÝµµÃ¼¿¡ ´ëÇÑ °øºÎ¸¦ ÇØ º» °æÇèÀÌ Àü¹«Çß½À´Ï´Ù.
±×·¯´ø Áß ÇØÄ¿½ºÀâ¿¡¼ Á¦°øÇÏ´Â ¹ÝµµÃ¼ Çٽɿϼº °ÀÇ Ã¼Çè´Ü¿¡ ¼±Á¤µÇ¾î
'±èµ¿¹Î ¼±»ý´ÔÀÇ ¹ÝµµÃ¼ Çٽɿϼº - »ê¾÷/°øÁ¤±âÃÊ ÀÔ¹®°ÀÇ'¸¦ üÇè ¼ö°ÇÏ°Ô µÇ¾ú½À´Ï´Ù.
´Ü°èÀûÀ¸·Î ÁøÇàµÇ´Â ¹ÝµµÃ¼±³À°
ÇØ´ç °ÀÇ´Â
01. ÀÔ¹® °ÀÇ
02. ¹ÝµµÃ¼ ÀÌ·Ð
03. ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ
04. ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤
¿Í °°Àº Ä¿¸®Å§·³À¸·Î ±¸¼ºÀÌ µÇ¾îÀÖ½À´Ï´Ù.
±×·¸±â ¶§¹®¿¡ ¹ÝµµÃ¼ °ü·Ã Áö½ÄÀÌ ºÎÁ·ÇÑ »ç¶÷µéÀÌ¶óµµ ÀÔ¹® °ÀǺÎÅÍ
Áß¿äµµ°¡ ³ôÀº ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤±îÁöÀÇ ±³À°À» ´Ü°èÀûÀ¸·Î ½ÀµæÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù.
1Â÷ üÇè°ÀÇ¿¡¼´Â 'ÀÔ¹®°ÀÇ'¸¦ Á¦°øÇÏ¿© ¹ÝµµÃ¼ ¹è°æÁö½Ä°ú Á¤ÀǸ¦ È®°íÈ÷ ÇÏ°í
¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷ÀÇ Àü¹ÝÀûÀÎ ±¸¼º°ú ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ÀÇ °³¿ä¿¡ ´ëÇؼ ¼³¸íÀÌ µÇ¾ú½À´Ï´Ù.
±×¸®°í À̾îÁö´Â 2Â÷ üÇè°ÀÇ¿¡¼´Â ¹ÝµµÃ¼¿¡¼ ÇÙ½ÉÀÌ µÇ´Â ¼ÒÀÚ¿Í °øÁ¤Àº ¹°·Ð,
Á¡Á¡ ¾î·Á¿öÁö´Â ¸éÁ¢À» ´ëºñÇÑ °ÀǸ¦ ¼ö°ÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù.
¹ÝµµÃ¼ÀÇ ÇÙ½É , ¼ÒÀÚ¿Í °øÁ¤
üÇè°ÀǸ¦ ¼ö°ÇÏ¸ç ¹è¿ü´ø ³»¿ëµé¿¡ ´ëÇؼ °£·«È÷ Á¤¸®ÇÏ¸é ´ÙÀ½°ú °°½À´Ï´Ù.
Energy Band, Fermi Level
°¡Àå ¸ÕÀú ¹ÝµµÃ¼¸¦ °øºÎÇÏ´Â µ¥ ÀÖ¾î¼ ±âº»ÀûÀ¸·Î ¾Ë¾Æ¾ß ÇÒ
Energy band, Fermi level¿¡ ´ëÇؼ ÇнÀ Çß½À´Ï´Ù.
Energy band, Fermi level°ú °ü·ÃµÈ ÀÌ·ÐÀûÀÎ ³»¿ëÀ», ÀÌÇØÇϱ⠽¬¿î Figure¸¦ ÅëÇØ ºñ±³Àû ½±°Ô ½ÀµæÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù. ÀÚÄ© ¾î·Æ°Ô ´À²¸Áú ¼öµµ ÀÖ´Â ³»¿ëÀ̾úÁö¸¸ ÀÏ»ó»ýÈ°¿¡¼ Á¢ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â »óȲ¿¡ ºø´ë¾î ¼³¸í(ex. ÅëÀå)À» ÇØÁּ̱⠶§¹®¿¡ °øºÎÇÏ´Â µ¥ Å« ¾î·Á¿òÀ» ´À³¢Áö ¾Ê¾Ò½À´Ï´Ù.
P-N Junction
´ÙÀ½À¸·Î °¡Àå °£´ÜÇÑ ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚÀÌÀÚ ¹ÝµµÃ¼ÀÇ typeÀ» °áÁ¤ÇÏ´Â P-N Juntion¿¡ ´ëÇؼ ÇнÀÀ» Çß½À´Ï´Ù.
¸¶Âù°¡Áö·Î figure¸¦ »ç¿ëÇØ ÀÌÇصµ¸¦ ³ôÀÌ´Â µ¥ µµ¿òÀ» ÁÖ¾ú½À´Ï´Ù.
¶ÇÇÑ, ÇØ´ç ¿ë¾î¿Í °ü·ÃµÈ ³»¿ëµéÀ» Á¤ÀÇ¿Í Á¦ÀÛ ¹æ¹ý, Çü¼º ¿ø¸®, º¯¼ö¿¡ µû¸¥ º¯È µî ¼¼ºÐȽÃÄÑ
±íÀÌ ÀÖ°Ô °øºÎ¸¦ ÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù.
8´ë °øÁ¤ÀÇ °³¿ä ¹× Oxidation & CMP
¹ÝµµÃ¼ ±³À°ÀÇ ²ÉÀ̶ó°í ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹ÝµµÃ¼ 8´ë °øÁ¤¿¡ ´ëÇؼµµ ÇнÀÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù.
ºÐ·ùÇÏ´Â »ç¶÷¿¡ µû¶ó 9´ë °øÁ¤À¸·Î ³ª´µ±âµµ ÇÏ´Â °øÁ¤ÀÇ ´Ü°è¸¦ Àü°øÁ¤°ú ÈÄ°øÁ¤À¸·Î ±¸ºÐÇÏ°í
±× Áß OxidationÀÇ Æ¯¼º°ú ¿ªÇÒÀ» ½Éµµ ±í°Ô °øºÎ¸¦ Çß½À´Ï´Ù.
¶ÇÇÑ, ¼ºÀå °úÁ¤¿¡¼ ¿µÇâÀ» ÁÖ´Â ¿ä¼Ò¿Í ¼ºÀå ¼ÓµµÀÇ »ó°ü°ü°è¸¦ ÀÌÇØÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù.
ÀÌ »Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó °øÁ¤ Áß ÀÚÁÖ ÁøÇàµÇ´Â CMP¿¡ ´ëÇÑ ³»¿ëµµ ÇнÀÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù.
CMP°¡ ÁøÇàµÇ´Â ¹æ¹ý¿¡ ´ëÇØ ÇнÀÇÏ°í ±¸Á¶¿¡ µû¸¥ ºÐ·ù, °øÁ¤ÀÇ Æ¯¼ºÀ» °øºÎÇÏ°í
ÀÌ¿¡ ¹ß»ý °¡´ÉÇÑ Issueµµ °í·ÁÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù.
¸éÁ¢´ëºñ
ÀÌ ÈÄ, ¾Õ¼ ¹è¿î ³»¿ëµéÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î '¿¹»ó ±âÃâ ¹®Á¦'¸¦ ¼±Á¤ÇÏ°í ÀÌ¿¡ ´ëÇÑ ´äº¯À» ÁغñÇÏ´Â ¹æ¹ý°ú '´ä¾È'À» ´Ù·ç´Â °ÀǸ¦ ¼ö°ÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú½À´Ï´Ù.
¹ÝµµÃ¼ Ãë¾÷? È¥ÀÚ¼ ÁغñÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù!
ÇØ´ç °ÀǸ¦ ¼ö°ÇÏ¸é¼ ´À²¼´ø Á¡Àº ¹ÝµµÃ¼ °øºÎ¸¦ Çϱâ À§Çؼ
'¿ÀÇÁ¶óÀÎ °Àdzª ±³À°'À» µè´Â °Íµµ ¹æ¹ý Áß Çϳª°¡ µÉ ¼ö ÀÖ°ÚÁö¸¸
¹°¸®Àû °Å¸®³ª °æÁ¦Àû ¹®Á¦ ¶§¹®¿¡ ¾Õ¼± °øºÎ ¹æ¹ýÀÌ ºÒ°¡´ÉÇÒ °æ¿ì '¿Â¶óÀÎ °ÀÇ'¸¦ ¼ö°ÇÏ´Â °Íµµ Å« µµ¿òÀÌ µÉ °ÍÀ¸·Î »ý°¢ÀÌ µé¾ú½À´Ï´Ù.
À̵¿ÇÏ´Â ½Ã°£À» Àý¾àÇÒ ¼ö ÀÖÀ» »Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó °ÀÇÀÇ Ä÷¸®Æ¼ ¶ÇÇÑ ÈǸ¢ÇÏ´Ù´Â »ý°¢ÀÌ µé¾ú½À´Ï´Ù.
ƯÈ÷, ¾Õ¼± ¸éÁ¢ ±âÃâ»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó ¿¹»ó ¸éÁ¢ Áú¹®¿¡ ´ëÇØ ´Ù·ç´Â '¸éÁ¢ ´ëºñ °ÀÇ'°¡ Æ÷ÇԵǾî ÀÖ´Ù´Â Á¡ÀÌ ¸¸Á·½º·¯¿ü½À´Ï´Ù.
°Ô´Ù°¡, ¸éÁ¢ ´ëºñ °ÀǸ¦ µû·Î µèÁö ¾Ê¾Æµµ 'ÀÔ¹®°ÀÇ, '¼ÒÀÚ °ÀÇ', '°øÁ¤ °ÀÇ'ÀÇ ¸ðµç °ÀÇ¿¡¼
'Self Assessment'¶ó°í ÇÏ¿© ¸éÁ¢¿¡ ³ª¿Ã ¸¸ÇÑ Áú¹®ÀÇ ´ë´äÀ» ½º½º·Î ÁغñÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ÆÄÆ®¸¦ Æ÷ÇÔÇÏ°í Àֱ⠶§¹®¿¡ ¸¹Àº µµ¿òÀ» ¹ÞÀ» ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ̶ó°í »ý°¢µé¾ú½À´Ï´Ù.
À̹ø °ÀǸ¦ ¹ßÆÇ»ï¾Æ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷¿¡¼ ¼º°øÀûÀÎ Ãë¾÷À» ÀÌ·ï³»°Ú½À´Ï´Ù.